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厭氧高溫氣氛爐

  • 更新時間:  2020-07-24
  • 產品型號:  C1-007/C1-008
  • 簡單描述
  • C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐C1-007用於電子無器件高溫處理工藝,C1-008用於光刻工藝後段,光刻膠固化。
詳細介紹

日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐
C1-007(溫度600℃、氧濃度20ppm)
● 用途:電子無器件高溫處理工藝
● 高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉功能,有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等
● 在安全方麵,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置


C1-008(溫度500℃、潔淨度100級、氧濃度20ppm
● 用途:光刻工藝後段,光刻膠固化
● 高工作溫度360℃和600℃、潔淨度100級、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉功能,有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫,降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等全不鏽鋼材質
● 在安全方麵,配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置

日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐技術規格

型號C1-007
溫度範圍 室溫+30~360℃ 
室溫+50~600℃
溫度分布精度±4.0℃(at 360℃) 
±8.0℃(at 600℃)
溫度上升時間60min(室溫→360℃) 
90min(室溫→600℃)
溫度下降時間 90min(360℃→50℃) 
120min(600℃→50℃)
氧濃度20ppm以下
氧濃度下降時間約45分鍾
運轉功能定值運轉、程序運轉
裝備氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等
內尺寸 W600×D600×H600mm
電源3相 AC380V
型號C1-008
溫度範圍 室溫+30~360℃ 
室溫+50~500℃
溫度分布精度±4.0℃(at 360℃) 
±8.0℃(a500℃)
溫度上升時間60min(室溫→360℃)
90min(室溫→500℃)
溫度下降時間90min(360℃→50℃)
120min(500℃→50℃)
氧濃度 20ppm以下
氧濃度下降時間約45分鍾
潔淨度100級
裝備氮氣導入裝置、水冷裝置、差壓計等
內尺寸W600×D600×H600mm
電源 3相 AC380V 

 


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