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潔淨厭氧高溫氣氛爐

  • 更新時間:  2020-06-08
  • 產品型號:  DTN430C/630C/450C/650C
  • 簡單描述
  • DTN430C/630C/450C/650C潔淨厭氧高溫氣氛爐潔淨度100級、氧濃度低於20ppm的氣氛爐,主要應用於固化半導體晶圓等。
詳細介紹

DTN430C/630C/450C/650C潔淨厭氧高溫氣氛爐工作溫度DTN430C/630C:360℃、DTN450C/650C:500℃,潔淨度100級,氧濃度20ppm,DTN430C內容積為91L,DTN630C內容積為216L,DTN450C內容積為91L,DTN650C內容積為216L。


●潔淨度100級、氧濃度低於20ppm的氣氛爐,主要應用於固化半導體晶圓等
● 高工作溫度 360℃和 500℃、潔淨度 100 級、氧濃度低於20ppm,主要應用於固化半導體晶圓(光刻膠 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等
● 采用耐熱高性能高效過濾器,箱內潔淨度始終保持在 100 級,可在潔淨的環境下進行高溫烘烤
● 高氣密性的壓力箱構造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低
● 通過磁密封保持高氣密性,並采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響
● 可實現快速升溫和降溫,升降溫速率可調節
● 荔枝视频下载app最新版裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收
安全性
● 擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置

DTN430C/630C/450C/650C潔淨厭氧高溫氣氛爐的技術規格

 


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